混合气体（部分特例）
|
用途 |
组份名称与常用浓度范围 |
平衡气 |
|
照明混合气 |
Ar 0.01-3% |
Ne |
|
Ar 30-50% |
Ne |
|
|
Ar 30% |
Kr |
|
|
N2 12-17% |
Ar |
|
|
Kr 1-5% Ar 5-30% |
N2 |
|
|
Xe 3-7% Ne 1-5% Ar 5-10% |
He |
|
|
CH3Br 0.1-1% |
Kr |
|
|
激光混合气体 |
CO2 10-34% |
He |
|
CO2 4.5—16% N2 10—25% |
He |
|
|
H2 1% CO 4% CO2 16% N2 16% |
He |
|
|
还原混合气体 |
H2 30-70% |
N2 |
|
CO 20-50% |
N2 |
|
|
H2 5-15% |
N2 |
|
|
焊接混合气体 |
O2 1-5% |
Ar |
|
CO2 10-20% |
Ar |
|
|
O2 1-2% |
Ar |
|
|
CO2 1-5% |
Ar |
|
|
CO2 5-10% |
Ar |
|
|
He 30-40% |
Ar |
|
|
He 50-80% |
Ar |
|
|
射线测定 |
CH4 10% |
Ar |
|
消毒杀菌 |
C2H4O 10-20% |
液体CO2 |
|
Cl2 2-20% |
N2 |
|
|
细胞培养 |
CO2 5% |
O2 |
|
检漏 |
He 0.5-10% |
N2或Ar |
常用的特气混合气烷类气体：
|
（1）硅烷、磷烷、乙硼烷、砷烷和氢、氮、氩、氦的混合气体； |
|
（2）原料气体纯度采用99.999%-99.9999%的高纯气体，稀释气体采用纯度≥99.9999%气体。 |
其他特气混合气体：
|
混合气名称 |
组份名称与常用浓度范围 |
平衡气 |
|
氟氩混合气 |
F2 1.0% Ar 3.4-3.6% |
Ne |
|
氩氖混合气 |
Ar 3.5% Xe 10ppm |
Ne |
|
氪氟混合气 |
F2 1.0% Kr 1.25% |
Ne |
|
氪氖混合气 |
Kr 1.25% |
Ne |
